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MEMS甲烷氣體傳感器

MEMS甲烷氣體傳感器是主要用于檢測環境中氣體氣體濃度的MEMS氣體傳感器。MEMS氣體傳感器采用固體金屬氧化物半導體材料作為氣敏元件，SI基襯底.上的微熱板是采用MEMS工藝制作的。該氣體傳感器可把不同功能、不同敏感方向或致動方向的多個傳感器或執行器集成于一體。適用于除了惡劣環境外各種場合的可燃氣體濃度檢測。

產品介紹：

MEMS甲烷氣體傳感器是主要用于檢測環境中可燃氣體氣體濃度的MEMS氣體傳感器。MEMS甲烷氣體傳感器采用固體金屬氧化物半導體材料作為氣敏元件，SI基襯底.上的微熱板是采用MEMS工藝制作的。該甲烷氣體傳感器可把不同功能、不同敏感方向或致動方向的多個傳感器或執行器集成于一體。適用于除了惡劣環境外各種場合的甲烷氣體濃度檢測。