MEMS氨氣傳感器

產(chǎn)品介紹：

MEMS氨氣傳感器的微熱板是利用MEMS工藝制作的，采用金屬氧化物半導(dǎo)體材料作為氣敏材料。當(dāng)環(huán)境空氣中有氨氣氣體存在時(shí)，MEMS氨氣傳感器的電導(dǎo)率會(huì)發(fā)生變化。氨氣氣體的濃度越高，MEMS氣體傳感器的電導(dǎo)率就越高。該NH3傳感器使用簡(jiǎn)單的電路即可將電導(dǎo)率的變化轉(zhuǎn)換為與該氣體濃度相對(duì)應(yīng)的輸出信號(hào)。

產(chǎn)品參數(shù)：

氨氣檢測(cè)范圍：0-300ppm

回路電壓Vc：≤24V DC

加熱電壓VH：2.8V士0.1V AVorDC

負(fù)載電阻RL：可調(diào)

加熱電阻RH：80?土20?(室溫)

加熱功耗PH：≤80mW

敏感體電阻Rs：1K?~30K?

靈敏度S：RO/RS≥2

濃度斜率a：≤0.9

溫度：20°C士2°C

濕度：55%RH土5%RH

標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試電路：VH:2.8V士0.1V，VC:5.0V